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・特徴・ポケットピッチ・サイズともにKMシリーズと同じで、搬送移送できます。
仕様・型番：K-20・ウェハー径（mm）：50（2″）・サイズ（mm）：67x150x54・収納数：25枚・材質：セミプラスト(R)A（PFA）・溝ピッチ：4.76mm当社管理番号7-177-20--検索キーワード--