半導体の高次元化技術 貫通電極による3D / 2.5D / 2.1D実装 / 傅田精一 【本】

半導体の高次元化技術 貫通電極による3D / 2.5D / 2.1D実装 / 傅田精一 【本】
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出荷目安の詳細はこちら内容詳細目次 : 第1章 TSV技術の開発/ 第2章 TSVの作成プロセス/ 第3章 TSVチップの3D積層技術/ 第4章 TSVを使ったワイドIOメモリシステム/ 第5章 2.5D TSVチップ積層構造/ 第6章 TSV‐3Dメモリシステムの開発/ 第7章 新インターポーザと2.1Dデバイス/ 第8章 3D用マイクロバンプ、チップフィル、実装材料/ 第9章 TSV関連の技術開発

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